Miten ALD-prosessissa voidaan varmistaa tarkka annostelu sekä pulssituksen hallinta vaativissa olosuhteissa?

Puolijohdeteollisuuden kehittyvissä ALD- ja ALE-prosesseissa venttiileiltä vaaditaan yhä parempaa annostelun ja pulssituksen tarkkuutta, toistettavuutta, nopeaa toimintaa sekä kestävyyttä korkeissa lämpötiloissa ja vaativissa kemiallisissa olosuhteissa.

Swagelok® ALD7C -kalvoventtiili vastaa näihin vaatimuksiin yhdistämällä Alloy 22 -materiaalin, jopa 250 °C:n käyttölämpötilan, alle 2 ms:n avautumis- ja sulkeutumisajan sekä tehdaskalibroidun virtauksen ±1 %:n tarkkuudella.

ALD7C soveltuu prosesseihin, joissa käytetään alhaisen höyrynpaineen ALD-lähtöaineita (prekursoreita). Nämä lähtöaineet vaativat korkeita toimituslämpötiloja pysyäkseen höyryfaasissa ja voivat sisältää voimakkaasti korrosoivia kemikaaleja.

Mitkä ALD7C:n ominaisuudet tukevat tarkkaa annostelua ja pulssitusta?

• Alloy 22 -rakenne tarjoaa erinomaisen korroosionkeston aggressiivisia prosessikemikaaleja vastaan ja vähentää kontaminaatioriskiä.
• Käyttölämpötila jopa 250°C mahdollistaa alhaisen höyrynpaineen lähtöaineiden vaatimat korkeat toimituslämpötilat.
• 0,7 Cv:n virtauskerroin säilyttää hyvän virtauskapasiteetin myös korkeissa lämpötiloissa ja vaativissa tyhjiöolosuhteissa.
• Alle 2 ms:n avautumis- ja sulkeutumisnopeus mahdollistaa tarkan annostelun lyhyillä pulssiajoilla.
• Tehdaskalibroitu virtaus ±1 %:n tarkkuudella parantaa annostelun yhdenmukaisuutta venttiilien, kammioiden ja tuotantolaitteiden välillä.
• Kentällä säädettävä virtaus mahdollistaa Cv-arvon pienentämisen jopa 35 % tehdasasetuksesta.
• Pitkä käyttöikä ja tasainen virtauskäyttäytyminen tukevat toistettavaa annostelua miljoonien syklien aikana.

Miten tasainen virtauskäyttäytyminen tukee ALD-prosessia?

Venttiilin tasainen virtauskäyttäytyminen mahdollistaa höyrypaineen tehokkaan siirtymisen venttiilin läpi tyhjiöolosuhteissa. Tämän ansiosta virtauskapasiteetti säilyy korkeana myös yli 150 °C:n lämpötiloissa ja alle 100 Torrin paineissa.  

Tuloksena on nopeampi ja tarkempi prekursoriannos prosessikammioon, nopeammat pulssi- ja puhdistusvaiheet, parempi annostuksen toistettavuus, parempi kammiokohtainen yhtenäisyys sekä pienempi herkkyys kaasunjakelujärjestelmän painehäviöille. 

Miten ALD7C:n huollettava rakenne vähentää käyttökatkoja?

ALD7C:n modulaarinen kasettirakenne mahdollistaa kalvon ja istukan vaihtamisen ilman koko venttiilirungon uusimista. Yhtä venttiilirunkoa voidaan huoltaa jopa viisi kertaa vaihtamalla kasetti uuteen.

Huolto voidaan tehdä suoraan tuotantolaitteella, mikä voi vähentää huoltoseisokkeja ja venttiilin elinkaarikustannuksia. Saatavana on myös erillisiä toimilaitesettejä huoltojen helpottamiseksi.

Millaisiin kokoonpanoihin ALD7C on saatavana? 

ALD7C on saatavana yksittäisenä venttiilinä sekä additiivisesti valmistettuihin (AM) Alloy 22 -manifold-kokoonpanoihin integroituna. Integroitu ratkaisu mahdollistaa useiden ALD7C-venttiilien yhdistämisen kompaktiksi kokonaisuudeksi, mikä vähentää liitoskohtien määrää, minimoi vuotoriskin ja helpottaa sovelluskohtaisesti suunniteltujen UHP-virtausratkaisujen toteuttamista.

Mitkä ovat ALD7C:n tekniset tiedot?

ALD7C-sarjan ominaisuudet verrattuna muihin ALD-sarjoihin 

Valintamerkki osoittaa taulukossa ilmoitetun ominaisuuden tai luokituksen.

Katso lisätiedot teknisistä raporteista. 

Miksi ALD7C soveltuu UHP-puolijohdeprosesseihin?

Swagelok ALD7C on ratkaisu UHP-puolijohdeprosesseihin, joissa tarkka annostelu, nopea vaste, korkea lämpötilankesto ja kemiallinen kestävyys ovat kriittisiä.

Mistä ALD7C:n lisätiedot löytyvät?

Lisätietoja löytyy Swagelok tuotekatalogeista MS-02-301, MS-02-442 sekä teknisestä raportista MS-06-128.

FAQ

Mihin prosesseihin ALD7C soveltuu?

ALD7C soveltuu vaativiin ALD- ja ALE-prosesseihin sekä prosesseihin, joissa käytetään alhaisen höyrynpaineen ALD-lähtöaineita.

Mikä on ALD7C:n korkein käyttölämpötila?

ALD7C:n ilmoitettu käyttölämpötila-alue on 10–250 °C.

Kuinka nopeasti ALD7C avautuu ja sulkeutuu?

ALD7C:n ilmoitettu avautumis- ja sulkeutumisnopeus on alle 2 millisekuntia.

Voiko ALD7C:n virtausta säätää käyttökohteessa?

Kyllä. Virtausta voidaan säätää kentällä, ja Cv-arvoa voidaan pienentää jopa 35 % tehdasasetuksesta ilman venttiilin palauttamista tehtaalle.

Voiko ALD7C:n huoltaa vaihtamatta koko venttiilirunkoa?

Kyllä. Modulaarisessa rakenteessa kalvo ja istukka vaihdetaan kasettina.

Onko ALD7C saatavana integroituna manifold-ratkaisuna?

Kyllä. ALD7C on saatavana yksittäisenä venttiilinä ja integroituna additiivisesti valmistettuihin Alloy 22 -manifold-kokoonpanoihin.

Mitä materiaaleja ALD7C-venttiilissä käytetään?

Venttiilin runko ja kalvo ovat Alloy 22 -materiaalia. Istukan materiaali on PFA.

Lisätietoja ALD7 venttiileistä ja muista puolijohdeteollisuudelle sopivista tuotteista saat seuraavilta asiantuntijoiltamme:

Sebastian Mandelin

Myynti-insinööri sebastian.mandelin@swagelok.fi | +358405421213